簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "Chao-Chang Chen".ecommittee (精準) and cadvisor.raw="田維欣"


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    以溫度可視化方法探討化學機械拋光製程中晶圓溫度分布
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生： 葉子毓   指導教授： 田維欣
    • 在現今半導體晶片製程中，為達到更小的元件關鍵尺寸(Critical Dimension, CD)，化學機械平坦化(Chemical-Mechanical Planarization, CMP)逐漸成…
    • 點閱：310  下載：1 
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)

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    溫度感測循跡微粒應用於微尺度流動之溫度場資料後處理
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生： 吳尚諭   指導教授： 田維欣
    • 溫度感測循跡微粒應用於溫度場與速度場可視化時，較高的螢光強度能增加訊號雜訊比以提升量測準確性，而量子點作為新興的溫度感測螢光材料，相較於傳統有機的溫度感測材料具有較高的螢光強度，因此本研究探討溫度感…
    • 點閱：259  下載：6 

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    以微粒影像測速儀探討二階靜電集塵器內之充電微粒軌跡
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生： 賴建霖   指導教授： 田維欣
    • 在空氣中的懸浮微粒(Particulate Matter, PM)已被證實對人體健康有負面影響，因此移除懸浮微粒的技術也成為目前人們研究的目標。靜電集塵器(electrostatic precipi…
    • 點閱：318  下載：16 
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